1、洁净厂房内金属物体包括洁净区的墙面,门窗,吊顶的金属骨架,应与接地系统做可靠连接,导静电地面,活动地板,工作台面,座椅等应做静电接地。
2、洁净厂房静电接地的连接线应有足够的机械强度和化学稳定性,其主干线截面不应小于95m㎡,支线最小截面应为2.5m㎡。
3、洁净厂房洁净区与人体接触的静电接地应串接限流电阻,限流电阻的阻值宜为1MΩ。
4、洁净厂房洁净区对电子产品生产过程中产生静电危害的设备,流动液体,气体或粉体管道,应采取防静电接地措施,其中有爆炸和火灾危险的设备,管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。
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