微电洁净室建造-布局设计应考虑以下几个方面
微电洁净室建造平面与布局设计应具有适当的灵活性,为了便于厂房内墙的可变性,主体结构宜采用大空间及大跨度柱网。要遵循平面布置合理,严格划分区域,防止交叉污染,方便操作生产原则。
1、工艺流程:根据
洁净室生产工艺流程和产品特点合理规划,确定生产设备的配置。
2、功能区域划分:根据
洁净室生产工艺流程和生产设备的布局,划分功能区域(或作业区),并设置必要的物流管道系统。
3、缓冲区设置:在工艺流程的交叉处设置缓冲区或中间缓冲站,以避免交叉污染。
4、检测点设置:在工艺路线上设置相应的检测点,便于生产过程中产品质量的控制和成品检验,同时也可避免因人员操作失误造成的污染事故的发生。
5、空气处理设施:
洁净室内的空气处理设施应满足生产工艺的需要,空调机组应符合《洁净室施工与验收规范》 (GB-T-2008)的要求,通风换气系统的送风回风口位置应符合《工业企业噪声控制设计规范》 (GB-2008) 的要求。
6、照明设施:
洁净室内照明灯具宜选用防爆型灯具并有良好接地措施;
7、隔断设施:如需隔断出不同功能的区域时应注意分隔区域的密封性;
8、防静电设施:对于易产生静电的场所(如电子行业) 还应增加防静电设施;
9、有机溶剂处理措施:若使用有机溶剂作为清洗剂时必须采取相应有效的措施以保护操作人员的身体健康。
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