半导体芯片车间无尘室净化工程特点:
洁净度等级要求高,风量,温度,湿度,压差,设备排风按需受控,照度,无尘室截面风速按设计或规范受控,另外该类无尘室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚,因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊无尘室有相关温湿度规定)。这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。7、电子制造行业无尘室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。
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