半导体芯片在制造生产过程中对洁净室车间内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度,新鲜空气量,噪声等作出了严格的规定。

       1、洁净室车间内的噪声级（空态）：不应大于65dB(A)。
       2、垂直流洁净室车间满布不应小于60%,水平单向流洁净室车间不应小于40%,否则就是局部单向流了。
       3、与洁净室车间外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。
       4、洁净室车间内的新鲜空气量应取下列,二项中的最大值。
       5、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
       6、保证供给洁净室车间内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

       7、净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施,洁净室车间的送风量。

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